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砷烷
hgm
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328213
砷烷（AsH3）是一种无色，密度高于空气，可溶于水及多种有机溶剂的气体。
产品特性
常温下砷烷很稳定，分解成氢和砷的速度非常慢，但温度高于230°C时，它便迅速分解。
应用说明
砷烷常用于特种电子器件生产的掺杂、离子注入等工艺中。
应用领域
能源和化学品
电子电器
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